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低流量，雙向常閉（NC）比例閥，帶有集成的熱補(bǔ)償功能，可在各種介質(zhì)上保持和可重復(fù)的流量。
VSO低流量閥可在0-500 sccm之間提供的控制流量控制。與VSO微型比例閥一樣，VSOLowFlow微型比例閥可根據(jù)輸入電流提供的氣體流量控制。可以通過DC電流或脈沖寬度調(diào)制以及閉環(huán)來控制閥門。 VSO低流量微型比例閥非常適合氣相色譜和質(zhì)譜設(shè)備制造商。

•實(shí)現(xiàn)的低流量（0 - 500 sccm）控制，提高儀器精度
•進(jìn)行熱補(bǔ)償以保持各種介質(zhì)的流動(dòng)
用于性能可追溯性的計(jì)算機(jī)自動(dòng)校準(zhǔn)和序列化
•清潔氧氣和分析服務(wù)使用
經(jīng)過驗(yàn)證的性能測(cè)試到1000萬個(gè)生命周期
•符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

PARKER派克VSO低流量微型比例閥典型應(yīng)用行業(yè)如下：
•氣相色譜
•質(zhì)譜
•壓力和流量控制
•質(zhì)量流量控制